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3D光學干涉輪廓儀技術詳解:從原理到應用

更新時間:2024-05-30      點擊次數:1618
    一、技術原理
    3D光學干涉輪廓儀主要基于白光干涉原理進行工作。其光源發出的光經過擴束準直后,通過分光棱鏡分成兩束。一束光經被測表面反射,另一束光經參考鏡反射。兩束反射光最終匯聚并發生干涉,形成干涉條紋。這些干涉條紋通過顯微鏡轉化為信號,再由專業軟件進行處理,以獲取樣品表面的三維形貌。
    二、技術特點
    高精度:利用白光干涉技術,3D光學干涉輪廓儀可實現納米級甚至亞納米級的測量精度。
    非接觸式:通過光學原理進行測量,無需與被測物體直接接觸,避免了機械磨損和樣品損傷。
    快速便捷:優化聚焦和算法使得測量速度極快,能夠快速構建3D圖形表面。
    三、應用領域
    3D光學干涉輪廓儀廣泛應用于多個領域:
    材料科學:用于納米材料、半導體等材料的表面形貌和粗糙度測量。
    航空航天:對航空器、衛星等高精度零部件的表面質量進行檢測。
    精密制造業:測量各類精密儀器、設備及工具表面的形貌,確保產品質量。
    生物醫學:對生物組織、細胞等表面形貌進行非破壞性測量,為生物學研究提供支持。
    總之,3D光學干涉輪廓儀以其高精度、非接觸式、快速便捷的特點,在多個領域展現出廣泛的應用前景。
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